氮气柜流量

5-25L/M或5-60L/m。根据不同容积的机柜大小，氮气流量计可分为5-25L/M或5-60L/m。氮气柜为氧浓度监控型氮气保护储物柜，适用于半导体器件工艺生产过程中存放成品、半成品、原材料及器具等。